这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的jing确要求为亚微米.

由于直接蒸发器采用制冷系统中的蒸发器作为空气冷却器，设备简单，体积小，占地面积小，初始投资zui经济；但制冷剂管道损失大，密封严格，蒸发器与冷冻机距离不远，一般冷冻机蒸发器提供送风系统，形成整体装置。

目前，电ji加湿器主要用于整体空调机组，并与压缩机、蒸发器、冷凝器、通风机等组装在一个盒子中，使用方便。通过喷洒循环水来加湿空气。喷淋室和淋浴表冷段均设有喷淋泵，冬季喷淋池内的循环水可加湿空气。

无尘室车间要想保持良好的办公环境，就bi须清洁。清洁车间分为生物清洁车间和非生物清洁车间。生物清洁车间是清洁车间的用途之一。

无尘室车间要想保持良好的办公环境，就bi须清洁。清洁车间分为生物清洁车间和非生物清洁车间。

在洁净厂房内众多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人员在洁净环境中的活动，无论是衣物、毛发、细菌…，会明显地增加洁净环境的污染程度 。

为保证生产环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度，需要采取多方面的综合措施，那保持无尘车间的洁净有哪些呢？

无尘车间净化一方面是送入洁净空气对室内污染空气进行稀释，另一方面是迅速排出室内浓度高的污染空气。为保证生产环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度，需要采取多方面的综合措施，那保持无尘车间的洁净有哪些呢？