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随着计算机、微电子和信息技术的发展,促进了电子制造业的快速发展,也推动了洁净室技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,电子制造清洁工厂的设计是一种综合技术,只有充分了解电子制造清洁工厂的设计特点,设计合理,降低电子制造行业的二次产品率,提高生产效率。
电子制造厂万级洁净室厂房特点:
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排气根据需要控制,照度、洁净室截面风速根据设计或规范控制。此外,这种洁净室对静电的要求非常严格。对湿度的要求尤其严格。由于过于干燥的工厂容易产生静电,导致CMOS集成损坏。一般来说,电子工厂的温度应控制在22℃左右,相对湿度应控制在50-60%之间(特殊清洁车间有相关的温度和湿度规定)。此时,静电可以有效消除,人们可以感到舒shi。芯片生产车间、集成电路无尘室、磁盘制造车间是电子制造业洁净室的重要组成部分。由于电子产品的制造,在生产过程中对室内空气环境和质量的要求非常严格,主要是控制颗粒和浮尘。同时,对其环境的温度和湿度、新鲜空气量和噪音作出了严格的规定。
●1000级电子制造厂洁净室的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
●电子厂洁净室垂直流洁净室布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,否则为局部单向流。
●洁净室与室外之间的静压差不得小于10pa,洁净区与不同空气洁净度之间的静压差不得小于5pa。
●电子制造业万级洁净室的新鲜空气量应取以下两项中zui大值:
●补偿室内排气量和保持室内正压所需的新鲜空气量之和。
●确保洁净室每人每小时新鲜空气量不小于40m3。
电子制造业洁净室净化空调系统加热器应配备新鲜空气和超温电源保护。如果采用点加湿,应设置无水保护。在寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的供气量应取以下三个zui大值:
●保证电子厂无尘室空气洁净度等级的送风量:
●电子厂洁净室的送风量根据热、湿负荷计算确定:
●提供给电子制造商洁净室的新鲜空气量:
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