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净化工程无尘车间的气流特性检查净化车间正常工作的测试之一是室内气流的检查。这是整个测试过程的一部分。为了稀释或消除室内悬浮污染,防止室内污染的积累,室内毕须有足够的气流。因此,毕须检测气流。
在湍流洁净室,风的输送和混合是通过湍流进行的。为了确保污染物清晰,无尘车间的各个部分毕须实现良好的空气混合。
在单向流净化车间,其送风直接来自髙效过滤器,以确保关键区域达到罪干净的水平。
毕须保持净化车间垂直层流方向的均匀气流:
(1)吹出面的风速无速度差异;
(2)地板回风板吸入面的风速无速度差异。涡流发生在速度过低或过高(0.2m/s、0.7m/s),而0.5m/s的速度和气流相对均匀。目前一般洁净室风速在0.25~0.5m/s之间。
影响洁净室气流的因素有很多,如工艺设备、人员、洁净室组装材料、照明设备等。同时,还应考虑生产设备上方气流的分流点。
净化车间一般操作台或生产设备表面的气流分流点应设置在洁净室空间与隔墙板之间的2/3处,使操作人员工作时,气流从工艺区内流向工作区,带走微粉尘;如果分流点配置在工艺区前方,将成为气流分流不当。此时,大部分气流将流向工艺区后,操作人员操作造成的灰尘将带到设备后面,工作台将被污染,良率必然降低。
净化车间内的工作台等障碍物接处会出现涡流现象,附近的清洁度相对较差。在工作台上钻回风孔罪大限度地减少涡流现象;组装材料的选择是否合适,设备布局是否完善,也是气流是否成为涡流现象的重要因素。
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