净化工程无尘车间排风装置的分类及处理设备

        在微电子生产用无尘车间和药品生产用无尘车间中，常常会在产品生产过程中使用或产生某些特定的酸性或碱性物质、有机溶剂和气体;在致敏性药物、某些甾体药物、高活性药物和有毒性药物生产过程中还会有相应的有害物质排出或渗人无尘车间内。对于上述无尘车间，在可能排出各种有害物质、气体或粉尘的生产工艺设备或工序处应设置局部排风装置或采取全室排风装置。按生产工艺过程排出的废气的种类，可将排风装置(系统)大体划分为以下几种类型:

(1)一般排风系统在生产辅助用室和生活用室， 如值班室、卫生间等排出的一般废气，大多数情况下不需要进行特殊处理即可直接排人大气。
(2)有机气体排风系统在产品生产中使用某些有机物质、溶剂作为原辅材料或清洗剂时，都将会在相关的场所或设备处散发有机物质、溶剂的气体，对这类场所或设备均应设置排风装置。在一.般情况下，有机排风系统中的有机气体浓度是很低的，若能达到国家规定的大气排放标准时，可直接排人大气，不需设置废气处理装置;当排风系统中有机气体浓度超过规定时，应设有机气体排放装置，经过处理达标后才能排人大气。有机气体排气的净化处理方法有活性炭吸附法、吸收法和催化燃烧法等。活性炭吸附法主要用于中小流量的不含粉尘、胶粘物质的苯类和汽油类有机气体排气的处理;吸收法设备简单，耗能低，但吸收效率不高;催化燃烧法主要用于较高浓度的苯类、醇类、脂类和汽油等有机气体排气的处理。有机气体排气处理装置应根据排风系统所含有机物质的品种、浓度等情况选用。
(3) 酸性气体排风系统湿法化学腐蚀、 酸液清洗实验室内均有酸性气体排出，在这类酸性气体的排风系统通常设有湿式洗气吸收塔，处理后排人大气。实际设计时应根据酸性气体的类型、浓度选用合适的吸收液和吸气塔的形式。

(4)碱性气体排风装置若排风系统气体中含有碱性物质或排 气中混有碱性化学试剂时，与酸性气体排风系统类似，通常采用湿式洗气吸收塔处理后排人大气。近年来，由于大气排放标准越来越严格，含有碱性物质(或酸性物质)浓度较低的排气也应进行净化处理才能达到排放标准。为此，可采用专用吸附剂对碱性排气(或酸性排气)进行处理达标后再排人大气。此种吸附剂一般为- -次性的，使用后应进行集中处理,通常作为固体废弃物在城市垃圾场集中处理。
(5)热气体排风系统 生产过程中的各种炉子、高温灭菌设备等均有热气排出，由于排气温度较高，有时可采用热回收等方式进行处理，若排气量较小或不便进行处理时，可在采取必要的隔热措施后直接排人大气。
(6)含粉尘的排风系统产品品种不同，生产工艺过程不同，排气中的粉尘性质也不同。应根据排气中的粉尘性质、浓度选用不同类型的除尘装置，一般采用布袋除尘器或带过滤元件的过滤除尘装置。对于某些含尘浓度很高的排风系统，根据工艺具体情况，有时尚需设置二级除尘装置，先将大部分粉尘去除后再送人前述的布袋除尘或过滤除尘装置，才能满足大气排放标准的要求，从而保证系统稳定，经济地运行。