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电子洁净室的洁净度等级应满足相应的要求,如风量、温度、湿度、压差、设备排气等。应按要求控制,洁净室的照明和截面风速应按设计或规范控制。同时,电子万级洁净室对静电有严格的要求。太干燥的车间容易产生静电,会损坏CMOS集成。以电子万级洁净室为例,电子制造万级洁净室的相关技术指标如下:
1.电子厂万级洁净室噪声等级(空态):不超过65dB(A),
2.电子制造商万级洁净室的温度应控制在22%左右,相对湿度应控制在50%-60%之间殊洁净室有相关的温湿度规定)。
3.电子制造厂垂直流万级洁净室全分布比不小于60%,水平单向流洁净室全分布比不小于40%,否则为局部单向流。
4.万级洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区的静压差不应小于5Pa。
5.电子制造业万级洁净室的新风量应为以下两项:补偿室内排气量和维持室内正压值所需的新风量之和。
6.根据热湿负荷计算,确定电子厂房万级洁净室送风量,确保洁净室每人每小时新风量不小于40m。
7.电子制造业万级洁净室净化空调系统的加热器应配备新风和超温断电保护。如果使用点加湿,应提供无水保护。在寒冷地区,新风系统应采取防冻措施。
无论根据生产工艺设计什么样的无尘车间洁净室,一般都会根据客户选择的设备清单、综合工艺、空间等因素进行综合评价,确定采用哪种净化方案,以及净化设备的选择。为了理想化空气处理效果,降低噪音,万级洁净室工程一般采用组合式空气处理机组冷水机组 有效送风口方案,并根据技术评估方案为客户推荐合理的设备选择。技术调整后的配套方案不仅为客户后续的稳定运行奠定了良好的基础,而且为客户节省了不必要的费用。
制造电子洁净室是一项技术性很强的工业洁净室净化工程,施工单位的技术水平将直接影响整个工程。因此,电子制造业的万级净化工程应谨慎对待,与专业洁净室工程服务商合作将是更好的保险选择。
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