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2.单向的、紊流的、垂直或水平气流。
花费因素变量:-0.073至0.18
在许多案例中,单向气流只在小空间和洁净室的敏感区域内使用,并且使用微环境。污染物的源头可能存在于手套箱、过滤模块等地方。多数设计为整体单向气流洁净室外的方案,只有在这些区域中没有作业者、生产设备和排风装置时才能实现单向气流。垂直或水平气流的选择,取决于房间的结构和设备的安放位置,紊流就可以将污染物带走。
洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来,为了节约成本,在“bay-and-chase”式的洁净室结构中,这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。在完全单向气流的洁净室内,人们希望微粒从工作区域流到带小孔的地板下。我们已经成功的建立了10级和100级的洁净室,在这些洁净室内没有架空地板,采用墙下部回风系统,而且洁净室的气流被设计成紊流。
另个一种办法是用薄的空气喷射装置隔离超清洁区域,这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺。它的功能类似于塑料门帘。
3.空气过滤。花费因素变量:-0.032至0.10
采用未端HEPA过滤器对空气进行过滤,0.3到0.5微米的去除效率为99.99%,0.12微米的去除效率为99.999%;若使用ULPA过滤器,0.12微米的去除效率为99.99995%。
根据洁净室外的用途,也可以选择其他的设备,例如,在循环风加新风处理系统中,使用HEPA过滤器用碳吸附或相似功能的合成过滤器处理VOC,静电过滤箱,等等。
在洁净室市场上,风机过滤不再是新产品,正确的应用它可以为许多高水平洁净室提供卓yue的、经济的解决方案,尤其是在吊顶高度有限的建筑内。已证明降低成本和减小过滤器的压降(在洁净室寿命期内,使用低等级过滤器,长时间采用高压降方式运转,所带来的效益并不总是十分明显)。