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随着电子行业的飞速发展,洁净技术也在飞速的发展中。洁净空调系统是实现洁净室控制的主要手段。洁净室送风和回风设计是影响洁净室是否达标的重要因素,本文主要从回风系统入手,提出在洁净室回风系统设计中易出现的问题,对其分析并提出解决办法。
1 回风口位置设置常见问题
目前,非单向流是洁净室气流组织的主要采用方式,即髙效送风口顶送(或侧上送)侧下回风;髙效送风口布置形式为吊顶均布,或是布置于受保护的工艺生产线上方,回风口布置于侧墙下方。《工业洁净厂房设计规范》GB50457-2008指出:回风口位置宜远离洁净工作台;易产生污染的工艺设备附近应设排风口;有局部排风装置或需排风的工艺设备,宜布置在洁净室下风侧。
由于送风口的布置是影响房间气流组织及空调参数的主要因素,因此,许多洁净室回风口布置存在以下几点问题:有的回风口随意布置于空余墙角或墙边,忽略了气流流向对工艺操作面的影响;有的设计回(排)风口又远离产生污染的工艺设备(如粉碎机等),这些工艺设备产生的污染空气会流到相对洁净区域甚至全洁净室;有的回风口布置的太少,回风速度偏大,导致全室空气流向一处,必然存在死角,洁净空气难以到达。
因此,在洁净室空调设计时,要同时参考建筑底图和工艺布置图,根据工艺要求进行设计:根据生产工艺特点,洁净度要求高的,回风口布置在远离设备侧;产尘或产生其它污染气体的,回(排)风口布置在zui靠近设备处;同时,风速不宜过大,以不大于2m/s为宜,这样,才能保证洁净室的洁净度,不增加卫生死角,zui大限度的保证洁净室工艺设备的an全有效使用。
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